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標準簡介：本標準規(guī)定了用Ｘ射線技術(shù)測量硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向的方法。本標準適用于硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向與參考面規(guī)定取向之間角度偏差的測量。硅片直徑為50～125mm，參考面長度為10～50mm。本標準不適用于硅片規(guī)定取向在與參考面和硅片表面相垂直的平面內(nèi)的投影與硅片表面法線之間夾角不小于3°的硅片的測量。
標準號：GB/T 13388-1992
標準名稱：硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向X射線測量方法
英文名稱：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1992-02-19
實施日期：1992-10-01
中國標準分類號（CCS）：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
國際標準分類號（ICS）：29.040.30
替代以下標準：被GB/T 13388-2009代替
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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