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標準簡介：本標準規(guī)定了電子材料晶片參考面長度的測量方法。本標準適用于測量各種直徑的硅拋光片、研磨片和切割片的參考面長度。也適用于測量砷化鎵、藍寶石和釓鎵石榴石等材料晶片的參考面長度。
標準號：GB/T 13387-1992
標準名稱：電子材料晶片參考面長度測量方法
英文名稱：Test method for measuring flat length on slices of electronic materials
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1992-02-19
實施日期：1992-10-01
中國標準分類號（CCS）：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
國際標準分類號（ICS）：29.040.30
替代以下標準：被GB/T 13387-2009代替
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：全國半導體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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