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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺（以下簡稱為平臺）的測量條件、測量系統(tǒng)和測量方法。本標準適用于平臺的研究、設(shè)計、生產(chǎn)、檢測及使用。
標準號：GB/T 38614-2020
標準名稱：基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺測量方法
英文名稱：Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2020-04-28
實施日期：2020-11-01
中國標準分類號（CCS）：儀器、儀表>>工業(yè)自動化儀表與控制裝置>>N10工業(yè)自動化與控制裝置綜合
國際標準分類號（ICS）：綜合、術(shù)語學、標準化、文獻>>詞匯>>01.040.39精密機械、珠寶 (詞匯)
起草單位：沈陽建筑大學、三英精控(天津)儀器設(shè)備有限公司、廣東工業(yè)大學、中國計量科學研究院、蘇州昊通儀器科技有限公司、沈陽理工大學
歸口單位：全國電子測量儀器標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 153)
發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.
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